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服部ヒーティングの超薄型パネルヒーターは、ニクロム帯にパターンを打ち抜き、またはエッチング加工し、絶縁物を挟み込んで加熱形成したヒーターです。高温加熱による発煙・変形がなく、熱膨張を少なくする構造（特許、意匠）であることが大きな特長です。
さらに、より超高温のパネルヒーターのニーズに応えて、従来の特許パネルヒーターと石英板を特殊技術組み合わせることにより、面状でしかも高温（高ワット）に対応する薄型石英パネルヒーターの開発にも成功しました。
服部ヒーティングのパネルヒーターは、半導体・液晶・科学機器分野に幅広く用いられています。まさに、省資源、省エネルギー型の超クリーンヒーターです。 |
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半導体用超精密ヒーター装置 |
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液晶用超精密ヒーター装置 |
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半導体用丸形・角形超精密
ヒーター（単体） |
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